| 配置與性能 | 加工尺寸 | φ6‘’或□150mm |
| 切槽深度 | ≦4mm或定制 |
| 工作臺平整度 | ±0.005mm/150mm |
| 對準系統 | 雙鏡頭，直光﹢環光 |
| 主軸 | 轉速范圍 | 10000～50000rpm |
| 輸出功率 | 直流1.5KW（2.4KW選配） |
| X軸 | 驅動方式 | 伺服電機 |
| 工作臺左右行程 | 170mm |
| 行程分辨率 | 0.0001mm |
| 速度設定范圍 | 0.1～500mm/s |
| Y軸 | 驅動方式 | 步進電機﹢光柵閉環控制系統 |
| 主軸前后行程 | 170mm |
| 行程分辨率 | 0.0001mm |
| 單步定位精度 | ≦0.002mm/5mm |
| 全程定位精度 | ≦0.004mm/170mm |
| Z軸 | 驅動方式 | 步進電機 |
| 主軸上下行程 | 30mm |
| 行程分辨率 | 0.0001mm |
| 重復定位精度 | 0.001mm/50次 |
| θ軸 | 驅動方式 | DD馬達 |
| 轉角范圍 | 380o |
| 轉角分辨率 | 0.0005o |
| 基礎規格 | 電源 | 單相AC220V或外置變壓器三相AC380V,功率3KW |
| 耗電量 | 加工時 0.6KW（參考值） |
| 暖機時 0.4KW（參考值） |
| 壓縮空氣 | 壓力0.6～0.8Mpa,最大消耗量200L/min |
| 切削水 | 壓力0.2～0..4Mpa,最大消耗量4.0L/min |
| 冷卻水 | 壓力0.2～0.4Mpa,最大消耗量1.5L/min |
| 排風量 | 1.5m3/min(ANR) |
| 外形尺寸W×D×H | 580mm×910mm×1650mm |
| 重量 | 500kg |
特點：
√ 標配非接觸測高功能（NCS）
√ 標配刀痕檢測功能
√ 選配刀片破損檢測功能（BBD）
√ 選配工件形狀檢測功能
√ 選配數據掃描錄入功能
使用條件：
1.請將機器設在20~25℃的環境中（波動范圍控制在±1℃以內）；室內濕度40%~60%，保持恒定，無凝結。
2. 請使用大氣壓露點在-15℃以下，殘余油份為0.1ppm，過濾度在0.01um/99.5以上的清潔壓縮空氣。
3. 請將切削水的水溫控制為室溫+2℃（波動范圍在±1℃以內），冷卻水的水溫控制為與室溫相同（波動范圍控制在±1℃以內）。
4. 請避免設備受到重力撞擊以及外界任何振動威脅。另外，請不要將設備裝在鼓風機、通風口、產生高溫的裝置以及產生油污的裝置附近。
5.請把本設備安裝在有防水性地板以及有排水處理的場所。
6.請嚴格按照本公司產品使用說明書進行操作。
應用領域：IC、光學光電、通訊、LED、MEMS、醫療器械
可精密切割材料：硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、氧化鋁、陶瓷、玻璃、石英、藍寶石、電路板
工件形狀識別功能：
精確識別不規則形狀加工物的輪廓，可以沿著輪廓形狀切割，減少切割空程，提高產能。
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